嵌入式工程师必学（162）：MEMS

概述：

MEMS (micro-electromechanical systems微机电系统）是一种具有机械和电子元件的微型机器，其最一般的形式可以定义为使用微细加工技术制造的小型化机械和机电元件（即设备和结构）。MEMS的物理尺寸可以从几毫米到小于一微米，这个尺寸比人类头发的宽度小很多倍。MEMS器件的类型可以从没有运动元件的相对简单的结构变化到在集成微电子控制下具有多个运动元件的极其复杂的机电系统，MEMS的一个主要标准是，至少有一些元件具有某种机械功能，无论这些元件是否可以移动。MEMS用于描述一类微电子设备及其制造过程。一些MEMS甚至没有机械部件，但它们被归类为MEMS，因为它们使传统机械中使用的结构小型化，如弹簧、通道、腔体、孔和膜。因为一些MEMS器件将测量的机械信号转换为电信号或光信号，所以它们也可以被称为换能器，传统全尺寸机械和电气元件的微观版本正在被制造并组合成微小的封装，使智能手机、可穿戴电子产品和汽车能够做出惊人的事情。这就是微机电系统（MEMS）的世界。根据应用和地理位置，MEMS可能被其他术语称为MEMS器件，包括微机械 （日本）、微系统MST（欧洲）、微流体、芯片实验室、生物MEMS、RF MEMS和光学MEMS（或MOEMS）。尽管以类似于半导体或集成电路的方式制造，但MEMS的不同之处在于它们具有某种机械功能，使设备能够与其周围环境相互作用。一些MEMS包含运动部件（如悬臂、弹簧或压敏膜片），而另一些则没有（RF滤波器、BAW滤波器、光子学和光学台）。