半导体标准协议 E94 ControlJob学习

所以GEM300标准也随之而来。
在这只是记录一下自己的理解，防止忘记。

一个批次作业的控制作业
将单个Carrier作为一个批次进行处理。此示例演示了在简单情况下使用控制作业的简便性。晶圆顺序保持不变，将晶圆材料退回到源载体。

#	解释	Dir	消息	CJ状态	PJ状态
1	创建PJ	H->E	PRJobCreateEnh(PRJobID=prj01_04, Mtrl=CS001,RecID=ILD3)	No state	No state
2		H<-E	PRJobCreateAck(PRJobID,PRJobStatus)		In POOL
3	请求CJ,材料 输出规格保持 从源载流器 到目标载流器 的硅片顺序	H->E	ControlJobCreate (CtrlJobID=cjf01_01, ProcessingCtrlSpec=(prj01_04,null,null), MtrlOutSpec=(CS001,null,null), MaterialIn=CS001, StartMethod=AUTO)
4	接收请求	H<-E	ControlJobCreateAck (CtrlJobID=cjf01_01,JobStattus)	QUEUED
5	如果没有CJ是 SELECTED 状态，因此新创建的CJ 状态立即变换	H<-E	事件 (CJSELECTED, CtrlJobID=cjf01_01)	SELECTED
6	CJ指定的 Carrier到达LP	H<-E	事件 (CARRIERIDREAD, CID=CS001)
7	设备识别并开始执行CJ	H<-E	事件(ControlJobStart,cjf01_01)	EXECUTING
8	CJ启动PJ，开始 将晶圆装载到腔体中	H<-E	事件(PRJOBSETUP,prj01_04)		ACTIVE SETUP
9	晶圆加工开始 在晶圆放入腔体后	H<-E	事件 (PRJOBPROCESSING,prj01_04)		ACTIVE PROCESSING
10	设备开始将晶圆 返回到原载体(目标载体)	H<-E	事件 (PROCESSINGCOMPLETE, PRJob=prj01_04)		ACTIVE PROCESSING COMPLETE
11	Carrier装满晶圆	H<-E	事件(CarrierComplete=CS001)
12	Host想要拿走Carrier	H->E	Rcommand(CarrierOut=CS001)
13	可以从设备上拿走Carrier	H<-E	事件(ReadtoUnload,CarrierID=CS001,PortID)
14		H<-E	事件(PRJOBCOMPLETE,PRJob=prj01_04)		No state
15	作业可以在Carrier拿走之前完成	H<-E	事件(ControlJobCompleted=cjf01_01,status=OK)	COMPLETE

后面再慢慢更新