小型真空镀膜仪 蒸镀 蒸发镀膜机 常州鸿明仪器科技有限公司

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黄经理

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零售价：23000元/台

1.真空腔体为直径160 mm的玻璃腔体，易清洁和放入样品；

2.安装有一个110 mm的样品台，并且样品台可以旋转，使所制薄膜达到更好的均匀性；

3.采用钨舟作为发热源，最高温度可达到2300℃；（赠送三只）

4.精确控温：可设置30段升降温程序，控温精度为+/-1℃；

5.自动/手动双控制选择；

6.设备上有一KF25接口用于连接真空泵；

7.最高真空度可达1E-6 Pa（采用涡旋分子泵）

8.双极旋片真空泵，可使仪器真空腔体的真空度达到0.1 Pa；

9.真空度达到0.1 Pa时，可蒸发一些贵金属，如金、银、铂、铝、钛等金属薄膜，也可蒸发有机材料和半导体材料；

10.高真空度可达1E-3 Pa（采用涡旋分子泵），此时可蒸发对氧敏感的材料，如Mg、Li等强活泼性金属；

11.样品台可静止或自动旋转，转速为：15 rpm

12.样品台和蒸发源之间的距离可以调节，调节范围为：50mm-150mm；

13. 配备膜厚检测仪